磁控濺射鍍膜設備
鍍膜行業(yè)的鍍膜原理(lǐ)和流程是很複雜的,整個鍍膜流程也是很周密。因為任何一個環節出現問題,都會造成(chéng)後期膜層的質量問題因此(cǐ),真空鍍(dù)膜機鍍膜原理和流程,是眾多商家關(guān)注的問題。
真(zhēn)空鍍膜機真空管鍍膜的原理是電子在電場的(de)作用下加速飛向基片的過程中與氬原子(zǐ)發生碰撞,電(diàn)離出大量的氬(yà)離子和(hé)電(diàn)子(zǐ),電子飛向基片。氫離子在電場的作用下加速轟(hōng)擊靶材,濺射出大量的靶材原子,呈中性的靶原(yuán)子(或分子)沉積在基片上成膜。
二次電子在加速(sù)飛向基片的過程中受到磁場洛侖磁力的影響,被束(shù)縛在靠近靶麵的等離子體區域內,該區域內等離子體密度(dù)很(hěn)高,二次電子在磁場的(de)作用下圍繞靶麵作圓周(zhōu)運動,該電子的運動路徑很(hěn)長,在(zài)運動過程中不斷的與(yǔ)氬原子發生碰撞電離出大量的氬(yà)離子轟擊靶材,經過多次(cì)碰撞後電子的能量逐漸降低,擺脫磁力線的束縛,遠離靶材,沉積在基片上。現在加上中(zhōng)頻磁控濺射靶用磁控射靶將膜(mó)體的蒸發分子在電場的作用下加速轟擊(jī)靶(bǎ)材,濺射(shè)出大量的靶材原子,呈中(zhōng)性的靶原子(或分子)沉積在基片上成(chéng)膜,解決了過去自然蒸發無法加工的膜體品(pǐn)種,如鍍鈦鍍錯等(děng)等。