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真空鍍膜設備

科技創新為動力(lì) 專業服(fú)務為目標
產品概(gài)述
       多弧離子鍍膜機是近年新開發的真(zhēn)空離子鍍膜技術(shù),利用真空狀(zhuàng)態下弧光放電原理的(de)離子鍍膜技術(shù),是先發展起來的真空鍍膜方(fāng)式,具有沉積速率高快,結合牢(láo)固,設備運行(háng)穩定等優點(diǎn),我公司在傳統多弧的基礎上(shàng),封靶結構、磁鐵、冷卻等進行了嚴格的改進和設計,提高了離化率,細化顆粒,膜層和基材(cái)結合牢固,膜層更加致密,硬(yìng)度耐磨性提高,適用於鍍製裝飾膜如:金色的氮化鈦,黑色碳(tàn)化鈦,七彩的氮氧化鈦等,亦可鍍防腐觸膜(如AL、Cr不鏽鋼及TIN等)和耐磨(mó)膜。膜層與基底結合牢固,適合於手(shǒu)表、五金、餐具及要求耐磨超硬的刀具、模具等。具有很好的發展(zhǎn)前景。

技(jì)術參數
設備型號(hào) VLT-800型 VLT-1000型 VLT-1200型
鍍膜室尺寸 800×1250 1000×1200 1200×1500
極限真空度 ≤4×10-4pa
抽氣時間 從大氣抽至6.6×10-2Pa<10min
電弧源 6個(2KW/個) 8個(2KW/個) 6個(2KW/個)
直流負偏壓 0-1000V 10A
0-500   20A
0-1000V 12A
0-500   25A
0-1000V 20A
0-500   30A
工件尺寸(cùn) 6軸(220×800) 6軸(250×1000) 6軸(280×1300)
加熱功率 15KW 20KW 25KW
總功率/平(píng)均(jun1)功率 40KW/25KW 50KW/30KW 58KW/35KW
磁控靶(平麵或(huò)圓柱靶) 10KW 15KW 20KW
氣(qì)體質量流量控(kòng)製儀(yí) 三路 三路 三路(lù)

設備特性
       生產同期:生產同期短-270sec/1同期(qī)(幹燥無(wú)大量放氣產品條件)
       鍍膜材料:通用於各種金屬鍍膜(鋁、鎳(niè)、銅、鉻……等(děng)金(jīn)屬(shǔ)材料)
       鍍(dù)膜方(fāng)式:金屬濺射鍍膜,膜厚分布均勻
       鍍膜品質:亮度高、附著力強
       鍍膜(mó)速度:兩個20Kw大功率磁控(kòng)製濺射(shè)電機,可以調動功率(lǜ)來控製鍍膜速(sù)度
       除濕能力:真(zhēn)空室內裝有雩下140度以(yǐ)下的低溫冷凍係統,充分吸收濕氣提高真空到達速度
       運營(yíng)費(fèi)用:濺射電極是自行開發產品,大大提高了靶(bǎ)材的(de)使(shǐ)用效(xiào)率
       占地麵精:在固定位置進行上(shàng)料和下料隻要很小的操作空間
       操作方法:人機界麵可以直觀的進行設置和監控,設有管(guǎn)理密碼無關人(rén)員無(wú)法更改
       售後服務:設有售後服務中心和配件倉(cāng)庫,可以快速處理使用中(zhōng)的問題

設備(bèi)原理圖示
       在(zài)適當的(de)真(zhēn)空環境下,接通高壓電源,在蒸發(fā)源(yuán)與(yǔ)基片間建立一個低壓氣體放電的低溫等離子區,基片(piàn)電(diàn)極上接(jiē)直流負(fù)高壓,從而形成輝光放電陰極,鍍(dù)料氣化(huà)原子進入此區域與惰性氣體離子及電子發生碰撞,離化後的離子及氣體離子以較高能量轟擊鍍層表麵,將蒸發物或其反(fǎn)應物沉積在積片上。

離子鍍膜原理圖
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