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真(zhēn)空鍍膜設備

科(kē)技創(chuàng)新為動力 專(zhuān)業服務為目標
產(chǎn)品概述
       多弧離子鍍膜機是近(jìn)年新開發的真空離子鍍膜技術,利用真空狀態下弧光放電原理的(de)離子鍍膜技術,是先(xiān)發展起來的真空鍍膜方式,具有沉積速率高(gāo)快,結合牢固,設備運行穩定(dìng)等優點,我公司在傳統多(duō)弧的基礎上,封(fēng)靶結構、磁鐵、冷(lěng)卻等進行了嚴格的改進(jìn)和設計,提高了離化率,細化顆粒,膜層和基材結合牢固,膜層更加致(zhì)密,硬度耐磨性提高,適用於(yú)鍍製裝飾膜如:金色的氮化(huà)鈦,黑色碳化鈦,七彩的氮氧化鈦等,亦可鍍防腐(fǔ)觸膜(如AL、Cr不鏽鋼及TIN等)和耐磨膜。膜層與基底結合牢(láo)固,適合(hé)於手表、五金、餐具及要求耐磨超硬的刀具、模(mó)具等。具有很好的發展前景。

技術參數
設備型號 VLT-800型 VLT-1000型 VLT-1200型
鍍膜室尺(chǐ)寸 800×1250 1000×1200 1200×1500
極限真空度 ≤4×10-4pa
抽氣時間 從大氣抽至6.6×10-2Pa<10min
電弧源 6個(2KW/個) 8個(2KW/個) 6個(2KW/個)
直流(liú)負偏壓 0-1000V 10A
0-500   20A
0-1000V 12A
0-500   25A
0-1000V 20A
0-500   30A
工件尺寸 6軸(220×800) 6軸(250×1000) 6軸(280×1300)
加熱功率 15KW 20KW 25KW
總功率/平均功率 40KW/25KW 50KW/30KW 58KW/35KW
磁控靶(平麵或(huò)圓柱靶) 10KW 15KW 20KW
氣體質量流量控製儀 三路 三路 三路(lù)

設備特性
       生產同期:生產同期短-270sec/1同期(幹燥無大量放氣產(chǎn)品(pǐn)條件)
       鍍(dù)膜材料(liào):通用於各種金屬鍍膜(鋁、鎳、銅、鉻(gè)……等金屬材(cái)料)
       鍍膜方式:金屬濺射鍍膜,膜厚分(fèn)布均勻
       鍍膜品質(zhì):亮(liàng)度高、附著力強
       鍍(dù)膜速度:兩個20Kw大功率(lǜ)磁控製(zhì)濺射電機(jī),可以調動功率(lǜ)來控製鍍膜速度(dù)
       除濕能力:真空室內(nèi)裝有雩下(xià)140度以下(xià)的低(dī)溫冷凍係統,充分吸收濕氣提高真空到達速度
       運營費用(yòng):濺射電極是自行開(kāi)發產品,大大提高了靶材的使用效率
       占地麵精:在固定位置進行(háng)上料和下料隻(zhī)要很小(xiǎo)的操作空間
       操作方法:人機界麵可(kě)以直觀的(de)進行設(shè)置和監控,設有(yǒu)管理密碼無關人員無法更改
       售後服(fú)務(wù):設有售後服務中心和配件倉庫,可以快(kuài)速處理使(shǐ)用中的問題

設備原理圖示
       在適當的真空環境下(xià),接通高壓電(diàn)源,在蒸發源與基片間建立一個低壓氣體放電的低溫等離子區,基片電極上接直(zhí)流負高壓,從而形成輝光放電陰極,鍍料氣化原子進(jìn)入此區域與(yǔ)惰(duò)性氣體離子及電子發生碰撞(zhuàng),離化後的離子及氣體離(lí)子以較高能量轟擊鍍層表麵,將蒸發物或其反應物沉積在積片上。

離子鍍膜原理圖
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