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真空鍍膜設備

科技創新為動力 專業服務為目標
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產品概述(shù)
       多弧離子鍍膜(mó)機(jī)是近年新開(kāi)發的真空離子鍍膜技術,利用(yòng)真空狀態下弧光放電原理的離子鍍膜技(jì)術,是先發(fā)展起(qǐ)來的真空鍍膜方式(shì),具有沉積速率高快,結(jié)合牢固,設備運行穩定等優點,我公(gōng)司在(zài)傳統多弧的基礎上,封靶(bǎ)結構、磁鐵、冷卻等進(jìn)行(háng)了嚴格的改進和設計,提高了離化率,細(xì)化顆粒,膜層和基材結合牢固,膜層更加(jiā)致密,硬度耐磨性提高,適用(yòng)於鍍製裝飾膜(mó)如:金色的氮化鈦,黑色(sè)碳化鈦,七彩(cǎi)的氮氧化鈦等,亦可鍍防腐觸膜(如AL、Cr不鏽鋼及TIN等)和耐磨(mó)膜。膜層與基底結合牢固,適合於手表、五金、餐(cān)具及要求耐磨超硬的刀具、模具等(děng)。具有很好的發展前景。

技術參數(shù)
設備(bèi)型號 VLT-800型 VLT-1000型 VLT-1200型
鍍(dù)膜室尺寸 800×1250 1000×1200 1200×1500
極限真空(kōng)度 ≤4×10-4pa
抽氣時間 從大氣抽至6.6×10-2Pa<10min
電弧(hú)源 6個(2KW/個) 8個(2KW/個) 6個(2KW/個)
直流負偏壓 0-1000V 10A
0-500   20A
0-1000V 12A
0-500   25A
0-1000V 20A
0-500   30A
工件尺寸 6軸(220×800) 6軸(250×1000) 6軸(280×1300)
加熱功率 15KW 20KW 25KW
總功率/平均功率 40KW/25KW 50KW/30KW 58KW/35KW
磁控(kòng)靶(平(píng)麵或圓柱靶) 10KW 15KW 20KW
氣體質量流量控製儀 三路 三路 三路

設備特性
       生產(chǎn)同期:生產同期短-270sec/1同期(幹燥無大量放氣(qì)產品條(tiáo)件)
       鍍膜材料:通用於各種金屬鍍(dù)膜(鋁、鎳、銅(tóng)、鉻……等金屬材料)
       鍍膜方式:金屬濺射鍍膜,膜厚分布均勻
       鍍膜品質:亮度高、附著力強
       鍍膜速度:兩個20Kw大功率磁控製濺射電機,可以調動功率來控製鍍(dù)膜速度
       除濕能(néng)力:真空室(shì)內裝有(yǒu)雩下140度以下的低溫(wēn)冷凍係統,充分(fèn)吸收濕(shī)氣提高真空到達(dá)速度
       運(yùn)營費用:濺射(shè)電(diàn)極是自行開發產品,大(dà)大提高了靶材的使用效率
       占地麵精:在固定位置進行上料和下料隻要很小的操作空間
       操作方法:人機界麵可以直觀的進行設置和監控,設有管理密碼無關人員無法更改
       售後服務:設有售後服務中(zhōng)心和配(pèi)件(jiàn)倉庫,可(kě)以快速處理使用中的問題

設備原理圖示
       在適當的真空(kōng)環境(jìng)下,接通高壓電源,在蒸發源與基片間建(jiàn)立(lì)一個低壓氣體放電的低溫等離子區,基片電極上接直流負高壓(yā),從而形(xíng)成輝光放電陰極,鍍料(liào)氣化原子進(jìn)入此區域與惰性(xìng)氣體離(lí)子及電子發(fā)生碰撞,離化後的離子及(jí)氣體離子以較高能量轟擊(jī)鍍層表麵,將蒸發物或其反應物沉積在積片上。

離子鍍膜原理圖
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