谘詢熱線:

18816588806

真空鍍膜設備

科技創新為(wéi)動(dòng)力 專業服務為目標(biāo)

光學鍍膜機


  觀察光學(xué)鍍膜機靶陰極電弧的(de)燃燒情況,每當電弧熄滅前,能發現電弧弧(hú)斑比較粗(cū)糙。有時(shí)甚至出現堆團狀弧斑。熄滅後觀察靶麵已發紅(hóng),靶表麵溫度很高。粗(cū)糙弧斑的出現,使弧電流較集中於靶麵一點,導致了弧斑(bān)下靶麵斑(bān)點電流過於(yú)集中,使弧斑下的靶麵溫度很高而產生大量的熱電子發射。
  靶麵局部大量的熱電子發射的結果,一方麵中和了大量的空間電荷,使陰極表麵上的電場成為減速場,甚至導致陰極表麵上的電場等於零。另一方麵,大量的熱電子發射對陰極表麵產生相當大的冷卻作用。結果既沒(méi)有空間電荷產生的很大電場來維持表麵發(fā)射,也不具備很高表麵溫度(dù)來產生熱電子發射,導致電弧的熄滅。
  所以在光學鍍膜機多(duō)弧靶源的設計中,應注意給陰極靶以充分的冷卻,盡量(liàng)采用直(zhí)接水(shuǐ)冷,間接水冷時,陰極座等相鄰部件應選用導熱性(xìng)能良好(hǎo)的材料(如銅(tóng)、鋁等)。

网站地图 17.c-起草_17C.C-起草免费_17.c-起草红桃国际_W17.C-起草官网