真（zhēn）空鍍膜設備主要指一類需要在較高真（zhēn）空度下進行的鍍膜，具體包括（kuò）很多種類（lèi），包括真空離子蒸發，磁控濺射（shè），MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種，主要思（sī）路是分成蒸發和濺射兩種。

       需要鍍膜的被成為基片，鍍的材料被成為靶材。 基片與靶材（cái）同在真空腔中。

       蒸發鍍膜（mó）一般是加熱靶材使表麵組分以原子團或離子形式（shì）被蒸發出來，並且沉降在基片表麵，通過成膜過程（散點－島狀結（jié）構-迷走結構-層狀（zhuàng）生長）形成薄膜。 對於濺射類鍍膜，可以簡（jiǎn）單（dān）理解（jiě）為利用電子或高能激光轟擊靶材，並使表麵組分以原子團或離子形（xíng）式被濺射（shè）出來（lái），並且後終（zhōng）沉積在基片表麵，經曆成膜過程，後終形成薄膜。

        真空鍍膜機廠家來告訴您維護和保養真空鍍膜設備的方法：

        1、每完成200個鍍膜程序以上，應清潔工作室一次。方法是：用燒堿（NaOH）飽和溶液反複擦洗真空室（shì）內壁（bì），（ 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發生（shēng）反應，反應後膜層脫落，並釋放出氫氣（qì）。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內的汙（wū）垢。

        2、真空鍍膜（mó）機（jī）廠家提醒當粗（cū）抽泵（滑閥泵，旋片泵）連續工作一個月（雨季（jì）減半），需替換上新（xīn）油。方法是：擰開放油螺栓，放掉舊（jiù）油，再將泵啟動數秒，使泵內的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓，加入新油至額定量（油視鏡觀察）。連續（xù）使用半（bàn）年以（yǐ）上，換油時應將油蓋打開，用（yòng）布擦（cā）幹淨箱內汙垢。

        3、擴散泵連續（xù）使（shǐ）用6個月以上，抽速明顯變慢，或操作失當，充（chōng）入大氣（qì），拆去聯結水管，卸下電爐盤，將噴嘴擰出，先用汽（qì）油將泵腔及（jí）泵（bèng）膽清（qīng）洗（xǐ）一遍，再用洗（xǐ）衣粉兌水清洗一遍，然後用清水清洗幹淨，待（dài）水（shuǐ）份揮發幹以後，裝好泵膽，加入新擴（kuò）散泵油，並裝回機體，接好水管，裝好電爐盤，便可以（yǐ）重新開機。在重新開機前，要注意（yì）檢漏工作。方法是：啟（qǐ）動維持泵，關好大門，數分鍾後，觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕，否則要進行檢漏（lòu）。檢查聯接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱憂後方可加熱，否則擴散泵油會燒環，無（wú）法進入工作狀態。