1、卷繞係統
　　真空鍍膜設備的卷繞係統（tǒng）主要由直（zhí）流電機傳動的放卷輥、收卷輥、鍍膜（mó）鼓、導向輥、張力測量（liàng）（控（kòng）製）輥、展平輥以及電阻測試輥等部件組成，它的作用是按照速度和張力將基材薄膜輸送到鍍膜區進行（háng）鍍製後，再將已鍍膜的基材薄膜（mó）收卷成（chéng）筒狀卷膜。通過控製薄膜（mó）卷繞的速度、張力以及展平輥的角度等工藝參數，可以避免產生皺紋而得到收卷整齊的膜卷。
　　2、速度控（kòng）製和張力控製
　　速度控製：帶狀基（jī）體（tǐ）的線速度恒定是保持膜厚均勻的重要條（tiáo）件。卷繞係統帶材（cái）的速度控製多數采用（yòng）以電流控製為主的速度（dù）恒定控製，速度都可以根據產品的要求，事先設定、自動調節。
　　張力控製：薄膜（mó）張力控製（zhì）在卷（juàn）繞真空鍍膜設備中是一個關鍵問題（tí）。張力控製同膜的跑偏、暴筋、起皺等現象均有關係。
　　3、蒸發係（xì）統由蒸發源夾座（電極）、蒸發源、送絲機構等組成。
　　4、PVD鍍膜設備（bèi）真空室開啟機構：大（dà）型（xíng）雙室半連續蒸發鍍膜機的開啟機構（gòu）一般由真空（kōng）室體（tǐ），卷繞機構（gòu），密封大板，動力櫃，行（háng）程開關和小車組成。根據鍍膜基本（běn）材料的幅寬（kuān），確定單門還是雙門開啟。常見的真（zhēn）空室多是單門開啟，蒸發器仍在鍍膜室內。
　　5、屏蔽（bì）組件：就是要在膜上屏蔽出未鍍膜的條紋或網紋，這是電容（róng）器膜的要求，普（pǔ）通電容器的屏蔽第紋是沿著基膜的縱向延伸的，安全電容器膜的屏蔽條紋是（shì）網紋。
　　6、真空鍍膜機係統：一般卷繞真空鍍膜設備的卷繞（rào）室和鍍膜（mó）室各有（yǒu）一套真（zhēn）空泵組。通常，國內外的設備所（suǒ）采用的真空（kōng）抽氣係統的蒸（zhēng）鍍室（shì）主泵為（wéi）測報擴散泵，卷繞室（shì）主泵為大抽速的油擴散噴射泵。