真空鍍膜機成(chéng)膜不均的因(yīn)素有哪些(xiē)
隨著鍍膜技術的發展,各類真空鍍膜機(jī)也逐漸出現,不管是哪種真空鍍膜機,薄(báo)膜的均勻性都會受到一些因素的影響。現在,17.c-起草就以磁(cí)濺射真空鍍(dù)膜(mó)機來分析(xī)成膜不均勻的(de)因素。
鍍膜機抽氣不均會影響鍍膜均(jun1)勻性。基片幹淨很重要。真空(kōng)鍍膜前要將基片(piàn)表麵認(rèn)真清潔幹(gàn)淨,達到工件去油、去(qù)汙和(hé)脫水的(de)目的。基板表(biǎo)麵汙染從零件在加工,運輸等過程中附著的各種各樣的灰塵(chén)、油脂(zhī)、拋光膏、汗漬等(děng),在潮濕環境下,基片(piàn)表麵易氧化(huà),形成氧化膜吸附氣體。對於這些汙物,都能用去油或化學方法清洗(xǐ)幹淨。幹淨的基片不要直接放在外麵(miàn),需要用封閉容器存放,減少沾汙。鍍膜室內也是會積灰的(de),所(suǒ)以要清洗鍍膜(mó)室內,烘(hōng)烤除氣,並將機器放置在幹淨的環境裏。注意擴散泵返(fǎn)油。鍍膜的原材料有很(hěn)多,如樹脂、矽酮、矽鹽酸、聚(jù)合物等(děng),輔料、配方的比列有所不同,薄膜也不同。
以(yǐ)上就是真空鍍膜機成膜不均(jun1)勻的因素。